Máy tráng phủ quay kỹ thuật số tự động và máy tráng phủ quay chân không cho lớp phủ quay trong phòng thí nghiệm
AOT
Hạ Môn, Trung Quốc
10-25 ngày làm việc
50 Bộ/Tháng
AOT-VTC-100A là máy tráng phủ quay nhỏ gọn với đầu kẹp chân không được thiết kế để tráng phủ dễ dàng và nhanh chóng thông qua phương pháp sol-gel cho các tấm wafer có kích thước lên đến 4". Tốc độ quay thay đổi từ 500-8000 vòng/phút với hai phân đoạn có thể lập trình. Gói sản phẩm đi kèm với đầy đủ phụ kiện để sử dụng ngay.
Máy tráng ly tâm kỹ thuật số tự động AOT-VTC-100A và máy tráng ly tâm chân không được thiết kế cho wafer 4 inch và chất nền không đều. Máy tráng ly tâm kỹ thuật số tự động và máy tráng ly tâm chân không sử dụng khay đựng chất lỏng polypropylene chống ăn mòn và cốc hút chân không ba cấp, hỗ trợ điều khiển tốc độ quay có thể lập trình hai cấp từ 500 đến 8.000 vòng/phút, với độ chính xác ±1%. Máy tráng ly tâm kỹ thuật số tự động và máy tráng ly tâm chân không tích hợp giao diện bơm chân không không dầu và giá đỡ ống tiêm có thể điều chỉnh, phù hợp với vật liệu sol có độ nhớt từ 0,5 đến 5000cPs, thời gian tráng đơn có thể điều chỉnh từ 1 đến 60 giây. Tiêu chuẩn với tùy chọn băng dính và cốc hút siêu nhỏ, tương thích với chất nền không đều 5 × 5mm đến 10 × 10mm, độ dày màng đồng đều ± 2%. Trọng lượng máy 15kg, kích thước 330 x 254 x 216mm, cắm và chạy, đáp ứng nhu cầu tráng hiệu quả của các phòng thí nghiệm bán dẫn, MEMS và màng mỏng quang học.
Tham số
Mô hình sản phẩm
AOT-VTC-100A
Kết cấu
Vỏ đúc bằng nhôm giúp quay ổn định
Đĩa chất lỏng được làm bằng Polypropylene (PP) để chống lại hầu hết các dung dịch ăn mòn
Cửa thoát nước và đầu nối bơm chân không nằm ở mặt sau
Một bộ lọc được bao gồm trong gói tiêu chuẩn. Nó được sử dụng để kết nối máy tráng phủ để ngăn nước thải chảy vào máy bơm
Gói tiêu chuẩn bao gồm một máy bơm chân không không dầu, vui lòng nhấp vào đây để biết thông số kỹ thuật chi tiết.
Buồng & Chân không Chuck
Đường kính buồng: 145 mm
3 bộ kẹp chân không chống ăn mòn PP có vòng đệm chữ O kẹp có nhiều kích cỡ khác nhau (1'', 2'' và 4'')
1 miếng băng dính (rộng 6'' x dài 24'') được bao gồm để phủ lên các bề mặt có hình dạng không đều (ví dụ: Đặt bề mặt không đều lên băng dính, sau đó đầu kẹp chân không sẽ giữ băng dính bằng lực hút)
Có sẵn cốc hút mini cho wafer nhỏ có đường kính dưới 1" hoặc đế có hình dạng thông thường (5x5 hoặc 10x10mm) hoặc không đều. Vui lòng nhấp vào đây để đặt hàng. với chi phí bổ sung. (xem hình bên dưới bên phải)
Máy bơm chân không (Không bao gồm)
Từ ngày 09/07/2022, Bơm chân không không dầu 120L/phút không được bao gồm.
Ống cao su chân không được bao gồm để sử dụng ngay.
Tốc độ quay và thời gian
Bảng điều khiển kỹ thuật số với HAI phân đoạn có thể lập trình cho thời gian quay và tốc độ khác nhau
Tốc độ quay: 500 - 8000 vòng/phút
Thời gian quay: 1 - 60 giây
Tiêm chất lỏng
Ống tiêm 20mL được sử dụng để chứa vật liệu phủ
Chiều cao của giá đỡ ống tiêm có thể được điều chỉnh và xoay tự do dọc theo thanh đỡ
Điện áp đầu vào
Máy tráng quay: 24 VDC với bộ đổi nguồn 100 - 240 VAC, 150W
Bơm chân không: 110VAC hoặc 220VAC vui lòng chọn điện áp trong thanh tùy chọn (cầu chì 10A)
Công suất động cơ
Động cơ DC 24V với công suất tối đa 150W.
Kích thước sản phẩm
330,2mm (D) x 254mm (R) x 215,9mm (C)
Cân nặng
15kg
Hiển thị sản phẩm
Máy tráng phủ quay kỹ thuật số tự động và máy tráng phủ quay chân không cho lớp phủ quay trong phòng thí nghiệm
Máy tráng phủ quay kỹ thuật số tự động và máy tráng phủ quay chân không AOT-VTC-100A, chuyên dụng cho wafer 4 inch, lập trình hai giai đoạn 500-8000 vòng/phút, cốc hút chân không PP chống ăn mòn, tương thích với lớp phủ sol-gel nền không đều, kiểm soát độ dày màng có độ chính xác cao cấp phòng thí nghiệm, thiết kế nhỏ gọn cắm và chạy.
Triển lãm
AOT Triển lãm Thiết bị Pin Lithium cung cấp cho các đơn vị triển lãm và khách tham quan một nền tảng toàn diện để trưng bày, trao đổi, hợp tác và giao dịch. Thông qua việc tham gia triển lãm, các doanh nghiệp có thể hiểu được động lực của ngành, mở rộng kênh thị trường, nâng cao hình ảnh thương hiệu và thúc đẩy đổi mới công nghệ và nâng cấp công nghiệp.
Giấy chứng nhận
Đối tác hợp tác
Câu hỏi thường gặp
Câu hỏi 1: Làm thế nào để lắp được nền có kích thước 3" hoặc không chuẩn?
A: Sử dụng băng dính tiêu chuẩn để dán lớp nền vào cốc hút 4 inch hoặc cốc hút thu nhỏ tùy chỉnh (5x5mm đến 10x10mm) để đảm bảo độ ổn định của lớp phủ thông qua lực hút chân không.
Câu hỏi 2: Máy bơm chân không không dầu hoạt động như thế nào nếu không có máy tráng ly tâm nhỏ gọn?
A: Cần mua thêm một máy bơm chân không tương thích (lưu lượng khuyến nghị ≥ 120L/phút) và kết nối thông qua giao diện ở mặt sau của thiết bị để đảm bảo mức chân không là > -80kPa nhằm đảm bảo quá trình hấp phụ ổn định chất nền.
Câu hỏi 3: Máy tráng ly tâm nhỏ gọn có phù hợp với dung dịch có độ nhớt cao (>5000cPs) không?
A: Máy tráng quay nhỏ gọn được khuyến nghị để giảm tốc độ quay xuống 500-2000 vòng/phút và kéo dài thời gian tráng lên hơn 30 giây và nếu cần, hãy làm nóng trước dung dịch ở nhiệt độ 25-30℃ để cải thiện tính lưu động.
Câu 4: Làm thế nào để vệ sinh khay PP để tránh lây nhiễm chéo?
A: Ngay sau khi phủ, rửa sạch bằng nước khử ion. Đối với hệ thống dung môi hữu cơ, sử dụng ethanol để làm sạch siêu âm trong 5 phút và nghiêm cấm sử dụng axit và kiềm mạnh để lau.
Câu hỏi 5: Giá đỡ ống tiêm có thể phù hợp với kích thước 50mL không?
A: Giá đỡ tiêu chuẩn hỗ trợ ống tiêm 20mL. Đối với thể tích lớn hơn, chiều cao của giá đỡ có thể được điều chỉnh và cố định thủ công, và nên tiêm chất lỏng thành từng phần nhỏ để đảm bảo độ đồng đều của lớp phủ.
