Lò ống CVD có ba vùng gia nhiệt - Lò ống chân không loại mở vùng nhiệt độ đơn OTF-1200X-S có cấu trúc làm mát bằng không khí hai lớp. - Nhiệt độ bề mặt thân lò được giữ ở mức dưới 60oC. - Lò nung ống có hệ thống bơm được làm từ sợi vi tinh thể alumina có độ tinh khiết cao sử dụng phương pháp hấp phụ chân không ở nhiệt độ cao. - Chương trình chèn dây điện trở gia nhiệt nhập khẩu giúp kéo dài tuổi thọ của thân lò ống nhiệt độ cao.