Lò ống CVD có ba vùng gia nhiệt - Lò ống chân không loại mở vùng nhiệt độ đơn OTF-1200X-S có cấu trúc làm mát bằng không khí hai lớp. - Nhiệt độ bề mặt thân lò được giữ ở mức dưới 60oC. - Lò nung ống có hệ thống bơm được làm từ sợi vi tinh thể alumina có độ tinh khiết cao sử dụng phương pháp hấp phụ chân không ở nhiệt độ cao. - Chương trình chèn dây điện trở gia nhiệt nhập khẩu giúp kéo dài tuổi thọ của thân lò ống nhiệt độ cao.

GSL-1600X là lò nung ống nhiệt độ cao loại ống chân không. Lò ống chân không của chúng tôi sử dụng thanh silicon molypden làm bộ phận gia nhiệt. Nhiệt độ định mức của lò ống pin là 1500℃. Phạm vi sử dụng của lò ống pin được cải thiện đáng kể do khả năng hoạt động trong nhiều điều kiện khí quyển khác nhau. Lò nung nhiệt độ cao có những ưu điểm như khả năng chịu nhiệt độ cao, kiểm soát nhiệt độ chính xác, vận hành đơn giản và bảo trì thuận tiện.