Lò ống CVD có ba vùng gia nhiệt cho phòng thí nghiệm
Lò ống CVD có ba vùng gia nhiệt - Lò chân không ống hở một vùng nhiệt độ OTF-1200X có cấu trúc làm mát bằng không khí hai lớp. - Nhiệt độ bề mặt thân lò được giữ dưới 60℃. - Lò ống có hệ thống bơm được chế tạo bằng sợi vi tinh thể alumina có độ tinh khiết cao sử dụng phương pháp hấp phụ chân không ở nhiệt độ cao. - Chương trình chèn dây điện trở gia nhiệt nhập khẩu kéo dài tuổi thọ của thân lò ống nhiệt độ cao.